商品詳細
投込みヒーター EDHシリーズ
半導体薬液、超純水、純水、化学薬品の加熱用に使用されております。
半導体薬液処理槽等の処理槽内に設置し薬液等を加熱するのに適しております。接液部は全てPFA・PTFE製ですので、金属イオン等の異物の溶出が極めて微量です。標準の容量は1〜5KWになりますが、標準以外の容量や、処理層の形状に合わせての特注品の製作もできます。
ヒーター容量ヒーター容量
液温度MAX80℃(水相当の液の場合)
主要材質接液部PFA・PTFE 他の主要部はSUS304
配線接続単相または三相結線
リード線1m
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