商品詳細
ECN型インラインヒーター
半導体薬液加熱用
半導体薬液を配管ライン途中で加熱する為のヒーターです。接液部には全てPFAを使用しております。
低温ヒーター使用で薬液を劣化させません。アルカリ性薬液に対しても劣化致しません。

常用最高使用圧力は0.4MPa、最高使用温度は150℃です。

過熱アラームセンサー、漏液センサーを内蔵しております。

停電等の急なシャットダウン時の温度上昇は10℃程度
ヒーター容量4.5KW〜12KW
液温度MAX150℃
圧力0.4 MPa
主要材質接液部PFA 他の主要部はSUS304、外装PVCまたはSUS304
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